Osakavacuum涡轮分子泵TGkine3300M-B / 3400M-B资料

更新时间：2024-05-08

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用途

半导体制造设备

FPD制造设备

太阳能电池制造设备

玻璃/镜片等光学元件加工

薄膜加工

加速器/宇宙环境模拟设备

OSAKA磁悬浮轴承型复合分子泵 TGkine-B系列使用磁悬浮轴承实现无油的排气，而且维护周期长。提供排气速度300L/s～3400L/s的产品。

TG-M系列产品型号：

TGkine1700M/TGkine2200M、TGkine3300M、TGkine3800M/TGkine4200M、耐反应生成物磁悬浮复合分子泵　TGkine-MI系列。

磁悬浮轴承型复合分子泵 TGkine-B系列产品特点：

■将电源控制器与分子泵一体化

■省电设计

■轻巧设计

■对应防护等级IP54

■多种通信接口

■对应国际规格

CE/NRTL/SEMI-S2

使用场合：

・半导体制造设备

・FPD制造设备

・太阳能电池制造设备

・玻璃/镜片等光学元件加工

・薄膜加工

・加速器/宇宙环境模拟设备

技术参数：

型号		TGkine3300M	TGkine3300M-40	TGkine3400M
吸气口法兰		VG300 ISO-B320	VG300 ISO-B320	VG350
排气口法兰		KF40/KF50
排气速度	N2(L/s)	3300
	N2(附带金属防护网) (L/s)	3100
	H2(L/s)	2700
最大压缩比	N2	>1×108
	H2	3×103
极限压力	VG・ISO-B(Pa)	<2×10-7
	VG・ISO-B(Torr)	<7.5×10-9
最大气体流量	N2 (sccm)	2100	4000	2100
启动时间	(min)	≦11
停止时间	(min)	≦13
允许辅助压力	(Pa/Torr)	170/1.28※1
推荐辅助泵	(L/min)	≧2000
输入电压	(V)	AC200-240V -15%+10%
相数		单相
频率	(Hz)	50/60
电流	(A)	Max. 5.3
所需电力	(kVA)	Max. 0.9
通信接口（规格可选）		Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet
防护等级		IP54
安装角度		任意
重量	VG・ISO-B（kg）	69
控制器型号		控制器与分子泵一体型