ExLASER®是一种多功能激光平面瞬时加热装置。

长处

可以实现超快的温度上升和下降。

一次性均匀加热 2 英寸基板

只有要加热的物体才能直接加热。

可根据工艺进行温度控制

在不加热大气的情况下节能

应用实例

MBE设备的基板加热

晶圆退火（SiC、GaAs等）

可以对多层器件进行表面退火（与小型化器件兼容）

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